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紙の本
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 製造技術の神髄 第3版 (図解入門 Visual Guide Book)
著者 佐藤淳一 (著)
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。【「TRC M...
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 製造技術の神髄 第3版 (図解入門 Visual Guide Book)
図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み[第3版]
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商品説明
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。【「TRC MARC」の商品解説】
半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。【商品解説】
目次
- 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
- 1-1 ひとつかみに見た半導体製造装置
- 1-2 半導体製造装置の市場規模
- 1-3 装置メーカとパラダイムシフト
- 1-4 日本の半導体製造装置メーカの現状
- 1-5 ファブの現状
- 1-6 ファブの多様化とは
- 1-7 シリコンウェーハの450mm 化の現状
- 第2章 半導体製造装置をファブから理解する
著者紹介
佐藤淳一
- 略歴
- 〈佐藤淳一〉京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
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