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紙の本
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する あなたの知らない日本の実力がわかる 第2版 (図解入門 Visual Guide Book)
著者 佐藤 淳一 (著)
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。【「TRC M...
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する あなたの知らない日本の実力がわかる 第2版 (図解入門 Visual Guide Book)
図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み[第2版]
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商品説明
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。【「TRC MARC」の商品解説】
著者紹介
佐藤 淳一
- 略歴
- 〈佐藤淳一〉京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
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