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イオンビームによる物質分析・物質改質
ラザフォード後方散乱分光法、反跳原子検出法、核反応検出法などのイオンビーム物質分析、イオン注入技術、イオン注入による表層改質、クラスターイオンビーム技術、イオンビーム加工...
イオンビームによる物質分析・物質改質
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商品説明
ラザフォード後方散乱分光法、反跳原子検出法、核反応検出法などのイオンビーム物質分析、イオン注入技術、イオン注入による表層改質、クラスターイオンビーム技術、イオンビーム加工などについてまとめる。【「TRC MARC」の商品解説】
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イオンビームによる物質分析や物質改質を専門としている技術者にとって役に立つ教科書
2000/07/17 09:16
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投稿者：ブックレビュー社 - この投稿者のレビュー一覧を見る
本書はイオンビームを物質の分析や改質，新物質の創生に応用している専門家にとって役に立つ教科書である。執筆は，実際にイオンビームを物質分析や物質改質に利用してきた技術者が担当した。イオンビームを利用したさまざまな分析技術，改質技術について，基礎や原理から応用例までを述べることによって，応用の現場で役立つ本になっている。特に，物質分析ではラザフォード後方散乱分光法（RBS），物質改質ではイオン注入技術の項における応用例の記述が詳しく参考になる。
RBSについては，分析の応用例についての記述が全体の約半分のページを占める。イオン注入技術に関しては，イオン注入技術の半導体デバイスへの応用，高エネルギーイオン注入の応用，超高能動イオン注入への応用，非質量分離大口径イオン注入（イオンドーピング）の応用という，４つの項目を設けて解説している。なお，イオンビームと固体との相互作用にまで立ち返って研究する場合には，姉妹編の「イオンビーム工学 イオン・固体相互作用編」を併読するとよい。
(C) ブックレビュー社 2000
