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- カテゴリ:研究者
- 発行年月:1991.9
- 出版社: 共立出版
- サイズ:19cm/114p
- 利用対象:研究者
- ISBN:4-320-08515-9
紙の本
イオンビームによる薄膜設計 (表面・薄膜分子設計シリーズ)
著者 山田 公 (著)
第1章.薄膜の形成 第2章.イオンビームの作用 第3章.種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法 第4章.プラズマ中での薄膜形成法 第5章.真空中での薄膜形成法【「TRC...
イオンビームによる薄膜設計 (表面・薄膜分子設計シリーズ)
税込
1,452
円
13pt
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商品説明
第1章.薄膜の形成 第2章.イオンビームの作用 第3章.種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法 第4章.プラズマ中での薄膜形成法 第5章.真空中での薄膜形成法【「TRC MARC」の商品解説】
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