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- カテゴリ:研究者
- 発行年月:1995.12
- 出版社: 培風館
- サイズ:22cm/366p
- 利用対象:研究者
- ISBN:4-563-03615-3
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紙の本
ウルトラクリーンULSI技術 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ)
著者 大見 忠弘 (著)
幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者がクリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説。【「TRC MARC」の商品解...
ウルトラクリーンULSI技術 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ)
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紙の本 |
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- 税込価格:156,090円(1,419pt)
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商品説明
幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者がクリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説。【「TRC MARC」の商品解説】
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