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- カテゴリ:大学生・院生
- 発行年月:2001.12
- 出版社: シュプリンガー・フェアラーク東京
- サイズ:27cm/431p
- 利用対象:大学生・院生
- ISBN:4-431-70934-7
- 国内送料無料
紙の本
シリコンマイクロ加工の基礎
著者 M.エルベンスポーク (著),H.V.ヤンセン (著),田畑 修 (訳),佐藤 一雄 (訳)
ナノテクノロジー・マイクロテクノロジーは将来性を最も有望視されている分野の一つである。本書はこれらの根幹技術であるシリコンマイクロ加工の基礎を徹底的に解説した。研究者の実...
シリコンマイクロ加工の基礎
税込
9,790
円
89pt
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商品説明
ナノテクノロジー・マイクロテクノロジーは将来性を最も有望視されている分野の一つである。本書はこれらの根幹技術であるシリコンマイクロ加工の基礎を徹底的に解説した。研究者の実践的手引きや大学生の教科書に最適。【「TRC MARC」の商品解説】
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