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- カテゴリ:一般
- 発売日:2002/05/23
- 出版社: 共立出版
- サイズ:22cm/210p
- 利用対象:一般
- ISBN:4-320-03412-0
- 国内送料無料
紙の本
シリーズ:結晶成長のダイナミクス 3巻 エピタキシャル成長のメカニズム
著者 西永 頌 (シリーズ編集委員),宮沢 信太郎 (シリーズ編集委員),佐藤 清隆 (シリーズ編集委員),中嶋 一雄 (責任編集)
情報化社会の進行に伴い、新たな需要が高まっている「結晶」について、その成長の理解や技術の最前線を、この分野の第一人者が執筆するシリーズ。3巻は、エピタキシャル成長にとって...
シリーズ:結晶成長のダイナミクス 3巻 エピタキシャル成長のメカニズム
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商品説明
情報化社会の進行に伴い、新たな需要が高まっている「結晶」について、その成長の理解や技術の最前線を、この分野の第一人者が執筆するシリーズ。3巻は、エピタキシャル成長にとって基本的かつ重要なテーマを取り上げて解説。【「TRC MARC」の商品解説】
本書ではエピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、最も基本となる重要なテーマを取り上げて解説する。本文中に出てくる式に対しても、その導出を行いその意味するところを理解できるように述べた。また、専門用語に対してもできるだけ説明を加え、本書のみで読者が理解し、独力で読み進めることが出来るように工夫している。【商品解説】
目次
- 1.基本概念
- 1.1 はじめに
- 1.2 エピタキシャル成長の基礎
- 1.3 結晶成長に影響を与える因子
- 1.4 成長モード
- 2.エピタキシャル成長の熱力学
- 2.1 固液平衡からの成長 (LPE )
- 2.2 固気平衡からの成長
著者紹介
西永 頌
- 略歴
- 〈西永〉名城大学理工学部勤務。
〈宮沢〉(株)信光社理事。
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