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- カテゴリ：一般
- 発行年月：２００５．１
- 出版社： 日刊工業新聞社
- サイズ：１９ｃｍ／１２６ｐ
- 利用対象：一般
- ISBN：4-526-05404-6
紙の本
ＭＥＭＳのはなし （Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）
著者 前田 龍太郎 （編著）,池原 毅 （著）,小林 健 （著）,単 学伝 （著）
電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法...
ＭＥＭＳのはなし （Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）
税込
1,540
円
14pt
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商品説明
電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。【「TRC MARC」の商品解説】
著者紹介
前田 龍太郎
- 略歴
- 〈前田龍太郎〉独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。
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