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- カテゴリ:実務家
- 発行年月:2006.9
- 出版社: シーエムシー出版
- レーベル: エレクトロニクス材料・技術シリーズ
- サイズ:27cm/329p
- 利用対象:実務家
- ISBN:978-4-88231-588-9
読割 50
- 国内送料無料
紙の本
半導体製造プロセス材料とケミカルス (エレクトロニクス材料・技術シリーズ)
著者 坂本 正典 (監修)
シリコンウェハーからフォトレジスト、CMP研磨剤、CVDガス、洗浄剤、実装材料まで多岐にわたる半導体製造用の材料・ケミカルスの技術動向、要求特性、将来展望などの最新情報を...
半導体製造プロセス材料とケミカルス (エレクトロニクス材料・技術シリーズ)
半導体製造プロセス材料とケミカルス
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商品説明
シリコンウェハーからフォトレジスト、CMP研磨剤、CVDガス、洗浄剤、実装材料まで多岐にわたる半導体製造用の材料・ケミカルスの技術動向、要求特性、将来展望などの最新情報を提供する。【「TRC MARC」の商品解説】
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