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商品説明
シリコン貫通電極(TSV)の技術をいろいろな角度から検討。TSV製作の工程、TSVを応用した構造やデバイス、電気的特性と熱特性などを解説する。〔「3次元実装のためのTSV技術」(工業調査会 2009年刊)の改題〕【「TRC MARC」の商品解説】
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