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- カテゴリ:一般
- 取扱開始日:2012/03/29
- 出版社: 技術評論社
- サイズ:21cm/162p
- 利用対象:一般
- ISBN:978-4-7741-4940-0
読割 50
紙の本
はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)
著者 野尻 一男 (著)
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望に...
はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)
はじめての半導体ドライエッチング技術
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商品説明
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。【「TRC MARC」の商品解説】
著者紹介
野尻 一男
- 略歴
- 〈野尻一男〉群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。
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