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紙の本
プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまと...
プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
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商品説明
超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。【「TRC MARC」の商品解説】
半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について,基礎から応用まで解説する.超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜,カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など,とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に,最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっている.【商品解説】
目次
- 第1章 プラズマ技術の基礎
- 第2章 プラズマナノプロセスの物理的基礎
- 第3章 プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
- 第4章 ナノエッチング技術
- 第5章 ナノ材料の基板成長と構造制御
- 第6章 ナノ粒子の気相合成
- 第7章 計測技術とプロセス解析
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