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目次

超精密加工の基礎と実際

超精密加工の基礎と実際

  • 超精密加工編集委員会(編)
  • 序章 超精密加工が今なぜ求められるのか
    • 1 現代社会における超精密加工技術のニーズ
    • 2 加工技術高精度化の進展
    • 3 精密加工法の分類と特性比較
  • 第1章 切削加工
    • 1.1 超精密切削とは
    • 1.2 切削理論および微小切削機構
    • 1.3 超精密切削加工
    • 1.4 切削温度と熱変形
    • 1.5 切削工具
  • 第2章 研削加工
    • 2.1 研削加工の基礎
    • 2.2 超砥粒ホイールのドレッシングとツルーイング
    • 2.3 超精密鏡面研削
    • 2.4 高精度化を目指した新しい非球面研削法
  • 第3章 研磨加工
    • 3.1 研磨加工の意味と必要性
    • 3.2 研磨加工技術の発展の過程
    • 3.3 研磨加工の現状
    • 3.4 実際の研磨加工技術と適用事例
  • 第4章 高エネルギービーム加工
    • 4.1 機械加工と高エネルギービーム加工
    • 4.2 放電加工
    • 4.3 レーザ加工
    • 4.4 電子ビーム加工
    • 4.5 イオンビーム加工
    • 4.6 ウオータージェット加工
    • 4.7 化学加工
  • 第5章 マイクロ・ナノ加工
    • 5.1 各種マイクロ・ナノ加工法の特性
    • 5.2 マイクロ・ナノ加工の先進技術
    • 5.3 ナノテクノロジーへの応用の可能性