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目次

放電プラズマ工学

放電プラズマ工学

  • 八坂 保能(著)
  • 序章 プラズマを学ぶ前に
    • 0.1 自然界のプラズマ現象
    • 0.2 近世におけるプラズマの研究と利用
    • 0.3 プラズマとは
    • 0.4 現代のプラズマの応用例
    • 0.5 本書の構成
  • 第1章 放電プラズマ工学の基礎事項
    • 1.1 ベクトル公式
    • 1.2 微分と積分
    • 1.3 電磁気学
    • 1.4 特殊関数
    • 1.5 次元と単位系
  • 第2章 電離気体中の衝突現象
    • 2.1 速度分布関数
    • 2.2 衝突過程
    • 2.3 原子の電子状態と分光記号
    • 2.4 分子衝突
    • 2.5 速度分布に関する平均
    • 2.6 クーロン衝突
  • 第3章 放電の開始と定常状態
    • 3.1 直流放電
    • 3.2 高周波・マイクロ波放電
  • 第4章 放電用高電圧の発生と計測
    • 4.1 直流高電圧
    • 4.2 パルス電圧
    • 4.3 高周波高電圧
    • 4.4 大電力マイクロ波
    • 4.5 高電圧・大電力の計測
  • 第5章 プラズマの性質
    • 5.1 プラズマの定義
    • 5.2 流体方程式
    • 5.3 輸送係数
    • 5.4 デバイ遮へい
    • 5.5 プラズマの密度,温度
    • 5.6 シース
  • 第6章 プラズマ中の振動と波動
    • 6.1 プラズマ振動
    • 6.2 プラズマの比誘電率
    • 6.3 プラズマ中の電磁波
    • 6.4 外部磁場の方向に伝わる電磁波
    • 6.5 体積波と表面波
  • 第7章 プラズマの生成と測定
    • 7.1 直流放電によるプラズマ生成
    • 7.2 高周波放電によるプラズマ生成
    • 7.3 マイクロ波放電によるプラズマ生成
    • 7.4 粒子バランスとパワーバランス
    • 7.5 プローブ測定
    • 7.6 分光測定
    • 7.7 電磁波干渉計測
    • 7.8 質量分析
  • 第8章 放電プラズマの応用
    • 8.1 プラズマTV−プラズマディスプレイパネル
    • 8.2 ガスレーザー
    • 8.3 プラズマによるシリコン膜の微細加工