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目次

  • 1 原理と歴史
    • 1.1 原理
    • 1.2 歴史
  • 2 電子と物質
    • 2.1 電子
    • 2.2 X線
    • 2.3 カソード・ルミネッセンス
  • 3 装置の構成
    • 3.1 全体
    • 3.2 電子光学系
    • 3.3 光学顕微鏡
    • 3.4 電子検出器
    • 3.5 波長分散型X線分光法(WDS)
    • 3.6 エネルギー分散型X線分光法(EDS)
    • 3.7 コンピュータ・システム
    • 3.8 真空装置
  • 4 分析の準備
    • 4.1 試料処理
    • 4.2 分析試料
    • 4.3 分析条件の設定
    • 4.4 X線分光器の選択
    • 4.5 分析法
  • 5 分析の実際
    • 5.1 定性分析
    • 5.2 線分析
    • 5.3 面分析
    • 5.4 定量分析
  • 6 定量分析の補正
    • 6.1 補正計算
    • 6.2 ZAF補正
    • 6.3 BA補正
  • 7 保守
    • 7.1 電子光学系の軸合せ
    • 7.2 タングステン・フィラメント
    • 7.3 電子光学系のクリーニング
    • 7.4 波長分散型X線分光器
    • 7.5 エネルギー分散型X線分光器
    • 7.6 真空装置
  • 8 付表
    • 8.1 元素の原子番号・原子量・密度・融点・沸点
    • 8.2 K系列X線の波長とエネルギー
    • 8.3 L系列X線の波長とエネルギー
    • 8.4 M系列X線の波長とエネルギー
    • 8.5 K・L吸収端と臨界励起エネルギー
    • 8.6 M吸収端と臨界励起エネルギー
    • 8.7 1/UとZを関数とする後方散乱因子
    • 8.8 原子番号によるJ値と蛍光収率
    • 8.9 Kα線の質量吸収係数
    • 8.10 Lα線の質量吸収係数
    • 8.11 Mα線の質徹吸収係数
    • 8.12 被蛍光励起線がKα線である場合のJ(A)値
    • 8.13 被蛍光励起線がLα線である場合のJ(A)値
    • 8.14 K吸収端の短波長側での質量吸収係数
    • 8.15 L吸収端の短波長側での質量吸収係数
    • 8.16 α係数
  • 付録
    • 付.1 EPMA関連の発達史
    • 付.2 EPMAに関する学会