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目次

薄膜トランジスタ

薄膜トランジスタ

  • 薄膜材料デバイス研究会(編)
  • 1.序論
    • 1.1 薄膜トランジスタ(TFT)とはなにか
    • 1.2 TFT発展の歴史
  • 2.TFTの動作原理
    • 2.1 基本的な動作原理
    • 2.2 基礎知識
    • 2.3 捕獲準位
    • 2.4 より詳しい動作原理
    • 2.5 種々のTFT
  • 3.TFT作製技術
    • 3.1 トップゲート構造およびボトムゲート構造
    • 3.2 水素化非晶質シリコンTFT作製技術
    • 3.3 多結晶シリコンTFT作製技術
    • 3.4 有機TFT作製技術
    • 3.5 酸化物TFT作製技術
  • 4.評価技術
    • 4.1 膜厚
    • 4.2 構造評価
    • 4.3 組成分析
    • 4.4 光学評価
    • 4.5 電気特性
  • 5.TFTの劣化現象と信頼性評価技術
    • 5.1 非晶質シリコンTFTにおける劣化現象
    • 5.2 低温多結晶シリコンTFTにおける劣化現象
    • 5.3 酸化物TFTにおける劣化現象
  • 6.TFTの応用技術
    • 6.1 TFTのディスプレイ応用
    • 6.2 TFTのセンサ応用
  • 7.TFTの将来技術
    • 7.1 映像ディスプレイ用TFT技術の将来
    • 7.2 フレキシブルディスプレイ用TFT技術の将来

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