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目次

プラズマ工学

プラズマ工学

  • 小越 澄雄(著)
  • 第1章 プラズマとは
    • l.1 プラズマ研究の歴史
    • 1.2 プラズマの定義
    • 1.3 プラズマの応用例
    • l.4 本書の構成
    • 練習問題
  • 第2章 プラズマの発生・維持
    • 2.1 放電開始
    • 2.2 各種放電プラズマ
    • 練習問題
  • 第3章 プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
    • 3.1 マクスウェルの方程式とプラズマの特性
    • 3.2 流体方程式とプラズマの導電率
    • 練習問題
  • 第4章 プラズマ内の波
    • 4.1 波の分散関係の求め方
    • 4.2 プラズマを記述する方程式の線形化
    • 4.3 電子プラズマ波とイオン音波
    • 練習問題
  • 第5章 拡散とプラズマ密度分布
    • 5.1 拡散係数
    • 5.2 拡散方程式と定常状態での密度分布
    • 5.3 密度分布の時間変化
    • 練習問題
  • 第6章 プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
    • 6.1 電子温度と密度の推定
    • 6.2 容量結合形プラズマ源
    • 練習問題
  • 第7章 誘導結合形プラズマ源
    • 7.1 誘導結合形プラズマ源
    • 7.2 アンテナが容器上面に存在する誘導結合形プラズマ源
    • 練習問題
  • 第8章 電磁波を用いた高密度プラズマ源
    • 8.1 TM波用共振器付マイクロ波プラズマ源と表面波プラズマ源
    • 8.2 電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ源
    • 8.3 ヘリコン波を用いた高密度プラズマ源
    • 練習問題
  • 第9章 スパッタリングと直流マグネトロン放電
    • 9.1 スパッタリング
    • 9.2 直流グロー放電によるスパッタリング
    • 9.3 平板形直流マグネトロン放電スパッタ装置
    • 練習問題
  • 第10章 プラズマ計測
    • 10.1 静電プローブ計測
    • 10.2 分光計測
    • 10.3 干渉計測
    • 練習問題
  • 第11章 半導体プロセスへの応用
    • 11.1 集積回路製造における主なプラズマプロセス
    • 11.2 プラズマプロセス
    • 練習問題
  • 第12章 プラズマの光源としての応用
    • 12.1 プラズマからの主な電磁波放射
    • 12.2 プラズマからの電磁放射の応用
    • 練習問題
  • 第13章 核融合発電への応用
    • 13.1 発電への利用が期待されている核融合反応と放出エネルギー
    • 13.2 ローソン条件
    • 13.3 プラズマのトーラス磁界による閉じ込め
    • 13.4 核融合炉の大きさの見積もり
    • 練習問題
  • 第14章 大気圧放電とその応用
    • 14.1 大気圧放電
    • 14.2 大気圧放電の応用
    • 練習問題
  • 第15章 超粒子シミュレーション
    • 15.1 超粒子シミュレーション
    • 15.2 超粒子シミュレーションの詳細
    • 15.3 XPDP1プログラムを用いたプラズマ現象の解析例
    • 練習問題
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