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目次

材料解析・顕微鏡研究者のためのマクロ観察と新型顕微技法Q&A

材料解析・顕微鏡研究者のためのマクロ観察と新型顕微技法Q&A

  • 朝倉 健太郎(共編)/ 中村 新一(共編)/ 小倉 一道(共編)
  • 第1章 はじめに
    • Q−1 マクロ観察とミクロ観察の考え方について教えてください
    • Q−2 マクロ観察でわかることを教えてください
  • 第2章 試料作製法(前処理)
    • Q−3 マクロ観察のための研磨方法と精密小型試料研磨機ISPP−1000の特長について教えてください
    • Q−4 精密小型試料研磨機ISPP−1000を使った結晶解析用の試料作製について教えてください
    • Q−5 精密小型試料研磨機ISPP−1000を使ったワイヤボンディングとアルミ電極接合部の観察方法について教えてください
    • Q−6 精密小型試料研磨機ISPP−1000にはどんなホルダーがあるのですか.試料を包埋せずにそのまま研磨できるホルダーはありませんか
    • Q−7 コーティング層などの表面処理層の拡大観察を傾斜研磨法によって行いたいのですが,具体的な方法について教えてください
    • Q−8 セラミックスと軟質金属の複合物の研磨法について教えてください
    • Q−9 仕上げ研磨で用いるコロイダルシリカとアルミナの使い分けについて教えてください
    • Q−10 酸化物研磨材が研磨表面に白く残ってしまい,表面分析でSi元素が検出されてしまいます.解決法を教えてください
    • Q−11 SEM用の試料ホルダーについて教えてください
    • Q−12 グリッドの種類について教えてください
    • Q−13 試料及びグリッド用ケースについて教えてください
    • Q−14 埋め込み樹脂について教えてください
    • Q−15 可視光硬化性包埋樹脂の使い方について教えてください
    • Q−16 紫外線重合装置のマクロ観察適応例について教えてください
    • Q−17 樹脂包埋用カプセルについて教えてください
    • Q−18 導電性ペーストとカーボン両面テープについて教えてください
    • Q−19 コーティング法やコーティグ材料はどう使い分けますか
    • Q−20 カーボン,金属蒸着装置の周辺道具について教えてください
    • Q−21 マグネトロンイオンスパッタ装置のマクロ観察適応例について教えてください
    • Q−22 親水性処理装置のマクロ観察適応例について教えてください
    • Q−23 親水性処理装置の適用例について教えてください
    • Q−24 オスミウムコータのマクロ観察適応例について教えてください
    • Q−25 表面分析用に1nm程度の均一な導電被膜を作製する良い方法を教えてください
    • Q−26 親水化処理と撥水化処理について教えてください
    • Q−27 真空電子染色法について教えてください
    • Q−28 スーパー支持膜(プラズマ重合膜)について教えてください
    • Q−29 イオン液体とは何か,またその使い方について教えてください
    • Q−30 布や昆虫のように複雑な構造の帯電対策にはどんな方法がありますか,教えてください
    • Q−31 ウルトラミクロトーム用ダイヤモンドナイフの種類と使い分けについて教えてください
    • Q−32 ウルトソニックナイフの概要と操作法について教えてください
    • Q−33 銅合金の組織観察について教えてください.エッチング液(腐食液)も種類が多くどれを選んでよいのかわかりません
    • Q−34 銅はんだ界面における断面観察の方法を教えてください
    • Q−35 Sn/Ag多層めっきのAgとSnとの界面の観察方法について教えてください
    • Q−36 透過電子顕微鏡試料の薄片化の方法やその作製法の特徴などを教えてください
    • Q−37 ESCAの試科作製法の注意点について教えてください
    • Q−38 金属などの微粒子の分散の方法を教えてください
    • Q−39 CP(Cross section Polisher)について教えてください
    • Q−40 IS(Ion Slicer)について教えてください
    • Q−41 FIBを使わないでTEM用試料を,電解研磨法によって局所領域を観察する方法について教えてください
    • Q−42 カーボン抽出レプリカ法で局所領域を観察する方法について教えてください
    • Q−43 試料の表面または断面を奥行き方向に連続観察する方法を教えてください
    • Q−44 管状構造の内壁を見る方法を教えてください
    • Q−45 実装部品の内部構造を広領域で観察できる試料作製方法を教えてください
    • Q−46 EBSD測定用試料の前処理で留意すべき点を教えてください
  • 第3章 マクロ観察技法(光学顕微鏡)
    • Q−47 実体顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−48 金属(落射)顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−49 位相差顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−50 偏光顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−51 蛍光顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−52 微分干渉顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−53 暗視野顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−54 インジェクション顕微鏡の主な用途を教えてください
    • Q−55 オートフォーカス顕微鏡(Z軸自動焦点法)について教えてください
    • Q−56 瞬時オートフォーカス・対物スライダーについて教えてください
    • Q−57 透明な材料中の異物を光学顕微鏡で観察する方法を教えてください
    • Q−58 多点タイムラブス(経時的変化)観察する際に,ディッシュを顕微鏡から外して培養機に入れ,再び顕微鏡側へ戻すと,標的細胞を見失ってしまいました.対策方法について教えてください
    • Q−59 標的とする細胞を,CS Chipを使用して8次元観察(他の顕微鏡で観察,発現量の定量等)した例について教えてください
  • 第4章 マクロ観察技法(SEM)
    • Q−60 SEMの種類と特徴を教えてください
    • Q−61 SEMで用いられる対物レンズの種類と特徴を教えてください
    • Q−62 SEMで用いられる電子銃の種類と特徴を教えてください
    • Q−63 プローブ電流を変える目的を教えてください
    • Q−64 二次電子検出器の種類と得られる情報について教えてください
    • Q−65 二次電子像は凸凹だけを反映しているのでしょうか
    • Q−66 反射電子検出器の種類と違いについて教えてください
    • Q−67 反射電子の検出角度によって情報はどう変わりますか
    • Q−68 低倍率でFE−SEMは必要ですか
    • Q−69 超高精細低倍率像+デジタルズームのメリットとデメリットを教えてください
    • Q−70 SEMの倍率誤差を小さくするにはどのような注意が必要ですか
    • Q−71 SEM観察をすると画面が観ているそばから真っ暗になったり,EDS分析をしたあとが試料に残ったりするのはなぜですか
    • Q−72 SEM装置内の汚染(コンタミネーション)を除去する方法について教えてください
    • Q−73 Al2O3基板上のPt薄膜のSEM−STEM観察について教えてください
    • Q−74 モンテカルロシミュレーションは何に使うのですか
  • 第5章 マクロ観察技法(EDS・EPMA)
    • Q−75 元素分析の分析領域はどの位ですか
    • Q−76 EPMAで低倍率観察を行うと素材とは異なる濃度分布が測定されましたがなぜですか
    • Q−77 広領域の元素マッピングの方法と使う時の注意点を教えてください
    • Q−78 散布図分析って何ですか
  • 第6章 マクロ観察技法(EBSD)
    • Q−79 EBSDの特長について教えてください
    • Q−80 EBSD解析から取得できる情報を教えてください
    • Q−81 EBSD法ではHough変換がどのように利用されているか教えてください
    • Q−82 EBSDにおける結晶方位の固定法について教えてください
    • Q−83 EBSDにおける粒界構造の考え方について教えてください
    • Q−84 EBSDにおける結晶粒度分布の考え方について教えてください
    • Q−85 ワーキングディスタンスの変化に伴う解析精度について教えてください
    • Q−86 EBSDで解析可能な最大領域はどれくらいか教えてください
    • Q−87 EBSDによるマクロ観察のメリット,デメリットを教えてください
    • Q−88 EBSDを用いて格子歪みを測定することは可能ですか
    • Q−89 EBSDマップの歪み分布とは何を意味しているのですか
    • Q−90 EBSDとECP法はどんな点が違うのですか
    • Q−91 複相材料のEBSD解析において注意すべき点について教えてください
    • Q−92 EDSとEBSDを組み合わせた解析で何がわかりますか
    • Q−93 EBSD測定に,試料の帯電やコンタミが及ぼす影響とその対策を教えてください
  • 第7章 マクロ観察技法(CL・TEM)
    • Q−94 電子線励起による蛍光(カソードルミネッセンス)を使って,高分子・生体組織を解析する方法について教えてください
    • Q−95 カソードルミネッセンスについて教えてください
    • Q−96 低加速電圧TEMの構造と効果について教えてください
    • Q−97 CTEMとSTEMによって得られる像の違いについて教えてください
  • 第8章 新型顕微(鏡)法(SPM・AFM)
    • Q−98 SPMについて概要を教えてください.STMとAFMは違うのですか
    • Q−99 SPMの基本原理を説明してください
    • Q−100 SPMで観察できる試料はどんなものですか
    • Q−101 SPMで観察できる試料の大きさはどれくらいですか
    • Q−102 SPMで観察できる範囲,観察倍率はどれくらいですか
    • Q−103 カンチレバーはどのようなものですか
    • Q−104 AFMの動作モードにはコンタクトモードとダイナミックモードがあると聞きますが,違いは何ですか
    • Q−105 AFMモード以外の各種SPMモードについて教えてください
    • Q−106 SPMの位相モードから何がわかりますか.教えてください
    • Q−107 SPMにおけるカンチレバーの寿命はどれくらいですか
    • Q−108 SPMにおけるカンチレバーの交換時期は何を目安にすればいいですか
    • Q−109 SPMの分解能はどれくらいですか
    • Q−110 SPMで観察したい物が見つからないのですが,どうすればいいですか
    • Q−111 原子間力顕微鏡によるナノレベルの凹凸測定について教えてください
    • Q−112 大きなうねりの中の微細な凹凸を観察するには,どうすればいいか教えてください
    • Q−113 AFM用単結晶ダイヤモンド探針の形状,先端角,結晶性などの先端形状の評価法を教えてください
  • 第9章 新型顕微(鏡)法(レーザ顕微鏡)
    • Q−114 レーザ顕微鏡について概要を教えてください
    • Q−115 レーザ顕微鏡の基本原理を教えてください
    • Q−116 レーザ顕微鏡で観察できる試料はどんなものですか
    • Q−117 レーザ顕微鏡で観察できる試料の大きさ,観察倍率や分解能を教えてください
    • Q−118 レーザ顕微鏡の計測機能を教えてください
    • Q−119 レーザ顕徹鏡の最近のアプリケーション適用例を教えてください
    • Q−120 触針式表面粗さ測定機とレーザ顕微鏡による測定浄域の等価性はありますか
    • Q−121 カラーレーザ顕微鏡によるナノレベルの凹凸観察について教えてください
    • Q−122 レーザ顕微鏡を使った高温その場観察法について教えてください
  • 第10章 新型顕微(鏡)法(ラマン分光)
    • Q−123 顕微ラマン装置について教えてください
    • Q−124 顕微ラマン装置で得られる材料情報について教えてください
    • Q−125 ラマン分光法を用いて多層カーボンナノチューブを解析するときに気をつけることを教えてください
  • 第11章 新型顕微(鏡)法(超音波顕微鏡)
    • Q−126 超音波顕微鏡の原理と応用例について教えてください
    • Q−127 超音波顕微鏡を使った電子部品(ICなど)の観察例について教えてください
    • Q−128 超音波顕微鏡を使ったコンデンサーの観察例について教えてください
    • Q−129 超音波顕微競を使った微粒子の観察例について教えてください
  • 第12章 新型顕微(鏡)法(X線CT)
    • Q−130 実装された母子基板をX線CT撮影装置で観察する方法について教えてください
    • Q−131 X線CT撮影装置を用いてハンダ接合部を観察した例について教えてください
    • Q−132 X線CTの原理とX線CT撮影装置で何がわかるのかについて教えてください
    • Q−133 X線撮影装置を用いたプリント基板内部の観察例について教えてください
    • Q−134 X線撮影装置を故障解析に用いる場合の評価について教えてください
    • Q−135 X線CT撮影装置を用いたコンデンサー内部の観察例について教えてください
    • Q−136 X線CT撮影装置を用いたワイヤボンディングの観察例について教えてください
    • Q−137 X線CT撮影装置を用いた高分子材料の観察例について教えてください
    • Q−138 X線CT撮影装置を用いたフィルターの観察例について教えてください
  • 第13章 新型顕微(鏡)法(XRD・表面分析)
    • Q−139 XRDを用いて構造解析をする場合の一般的な注意点について教えてください
    • Q−140 物質同定のとき,2θ/θの角度が標準値とずれたときの補正方法を教えてください
    • Q−141 XRDを用いて粉体試料,あるいはバルク試料を固定する具体的な方法について教えてください
    • Q−142 XRDを用いて格子定数を正確に測定する具体的な方法について教えてください
    • Q−143 XRDを用いて残留オーステナイト量を測定する具体的な方法について教えてください
    • Q−144 X線で解析可能な構造は最大でどれくらいか教えてください
    • Q−145 微粒子の化合物同定方法を教えてください
    • Q−146 X線回折法を使って結晶性高分子の結晶化度をどのようにして導出するのでしょうか
    • Q−147 X線小角散乱法で結晶性高分子の結晶ラメラ厚を求めることは出来るのでしょうか
    • Q−148 数秒単位の結晶構造の変化を観察できる方法はありますか.教えてください
    • Q−149 薄膜の化合物同定方法について教えてください
  • 第14章 観察法(光学顕微鏡)
    • Q−150 ボルトのマクロ組織観察法について教えてください
    • Q−151 破断面のマクロ組織観察の方法を教えてください
  • 第15章 観察法(EDS・EPMA・EBSD)
    • Q−152 短時間で元素分析したり,マッピングをするには何が必要ですか
    • Q−153 FIBボックス加工面に対するEDS分析の注意点は何ですか
    • Q−154 凹凸の大きな試料をEDS分析するにはどんな注意が必要ですか
    • Q−155 EPMAを使って界面情報を得るときの注意事項を教えてください
    • Q−156 有機物試料のEDS分析がうまくできません.よい方法を教えてください
    • Q−157 腐食処理した金属試料の元素分析結果は信頼できますか
    • Q−158 複数の相を簡易的に観分けることはできますか.教えてください
    • Q−159 分析時における観察倍率と最小ステップサイズの目安について教えてください
  • 第16章 観察法(SEM)
    • Q−160 マクロ観察における光学顕微鏡とSEMの使い分けを教えてください
    • Q−161 光学顕微鏡で観察した異物とSEMで観察した異物の大きさが異なるのはなぜですか
    • Q−162 SEM槻察において最低倍率以下の広い領域を観察する方法を教えてください
    • Q−163 cmオーダーの広領域SEM観察法について教えてください
    • Q−164 大きな試料で見たいところを選ぶ方法を教えてください
    • Q−165 SEM観察において高倍率にする前の見たい位置の探し方について教えてください
    • Q−166 飛び出しているのか凹んでいるのかはどうやって判断しますか
    • Q−167 SEMによるステレオ観察法について教えてください
    • Q−168 ステレオ観察法を利用した高さの測定法について教えてください
    • Q−169 帯電しているかどうか,どうやって判断しますか
    • Q−170 絶縁物で囲まれた導電性部分の観察方法について教えてください
    • Q−171 高加速走査電子線を用いた内部構造の透視観察について教えてください
    • Q−172 インレンズSEMあるいはセミインレンズSEMでバルク状の磁性材料は観察できますか
    • Q−173 SEMによってバルク試料の転位を観察する方法を教えてください
    • Q−174 金属のグレイン形状を簡単に観察する方法は何ですか
    • Q−175 導通のあり/なしでコントラストを付ける観察について教えてください
  • 第17章 観察法(TEM)
    • Q−176 高分解能TEMにおいて面一致粒界を観察する方法について教えてください
    • Q−177 半導体集積回路をTEMでマクロ観察するにはどうすればいいか教えてください
    • Q−178 焼成前の軟らかい金属アルコキシド層の断面形態を評価する手法を教えてください
    • Q−179 Snめっき/Cu基材の界面を観察する方法について教えてください
    • Q−180 Snウイスカーの観察方法について教えてください
  • 第18章 観察事例
    • Q−181 ゼオライトのマクロ組織とミクロ組織について教えてください
    • Q−182 ジルコニアのマクロ組織とミクロ組織について教えてください
    • Q−183 窒化アルミニウムセラマックのマクロ組織とミクロ組織について教えてください
    • Q−184 特定領域の窒化アルミニウム(AIN)セラミックを結晶構造解析する方法について教えてください
    • Q−185 塗膜内部の空隙をSEMで観察する方法を教えてください
    • Q−186 塗膜表面の微細凹凸の観察法について教えてください
    • Q−187 塗膜中の添加剤の分布状態を観察する方法について教えてください
    • Q−188 塗膜表面に偏在した添加剤の分析について教えてください
    • Q−189 塗膜はじき分析例を教えてください(その1)
    • Q−190 塗膜はじき分析例を教えてください(その2)
    • Q−191 塗料のマクロ分離現象の動力学とその観察例を教えてください
    • Q−192 高分子中のフィラー凝集体のTEM観察方法について教えてください
    • Q−193 高分子中のフィラーの分散状態観察方法について教えてください
    • Q−194 液体中のフィラーの観察方法について教えてください
    • Q−195 チタン合金のマクロ組織の微細化と組織観察について教えてください
    • Q−196 ステンレス鋼と低合金鋼の積層材料界面の観察方法について教えてください
    • Q−197 小角X線散乱分析におけるマクロ解析のクロスチェックにはどのようなものがありますか
    • Q−198 積層メタライズ基板製法におけるマクロ解析のクロスチェックにはどのようなものがありますか
    • Q−199 和紙の構造の顕微鏡観察について教えてください
    • Q−200 電子部品用パッケージ中の内在物を確認したいのですが,どのような手法がありますか
    • Q−201 電子部品用パッケージ中のデバイスチップの構造解析を効率的に進める方法を教えてください
    • Q−202 Siチップ用Cuバンプレス接合部の界面の断面観察および評価方法を教えてください
    • Q−203 アルミニウム陽極酸化皮膜の断面構造を解析する手法,多孔質皮膜に変形を与えないTEM試料作製法を教えてください
    • Q−204 医療用インプラントの陽極酸化皮膜の構造解析の進め方などを教えてください
    • Q−205 市販アルミニウム箔の変色部の表面形態,生成膜の相同定や膜厚などを調べる解析方法をを教えてください
    • Q−206 SIM像からアルミニウムの結晶粒径を簡単に見る,測る手法を教えてください
    • Q−207 TEMによるアルミニウム箔の内部構造の解析手法を教えてください
    • Q−208 Mg合金鋳造プロセスで発生した表面黒色皮膜の構造解析について教えてください
    • Q−209 ピックアップせずに,表面上に吸着あるいは生成したナノ構造体を直接観測する手法を教えてください
    • Q−210 多結晶体上に形成したナノ粒子の被覆率や鮮明に観察する方法およびその試料作製法を教えてください
    • Q−211 Cr−Mo−V鋼に析出するV4C3微細析出物の形態分布などを観察評価,定量化する方法について教えてください
    • Q−212 LSI電極材料用スパッタCoSi2膜のレーザーアニールによる構造変化,膜剝がれ部位を調べる方法を教えてください
    • Q−213 SnメッキCu界面のEBSD評価事例について教えてください
    • Q−214 SEMによるPt/Ti薄膜の試料高温リアルタイム組織変化観察について教えてください
  • 19章 付録(マクロ組織とミクロ組織)
    • Q−215 プロローグ
    • Q−216 純鉄(超高純度鉄)
    • Q−217 一般構造用圧延鋼材(SS400)
    • Q−218 機械構造用炭素鋼(S45C)
    • Q−219 熱間工具鋼鋼材(SKD61)
    • Q−220 フェライト系耐熱鋼(マルチンサイト/フェライト2相鋼)
    • Q−221 オーステナイト系ステンレス鋼(SUS304)
    • Q−222 アンバー(Inver,不変鋼)
    • Q−223 純銅単結晶
    • Q−224 高電導ばね材(銅合金MSP1)
    • Q−225 純チタンおよびチタン合金(Ti−6Al−4V)
    • Q−226 金属間化合物(Ni3Al)
    • Q−227 アモルファス合金
    • Q−228 窒化けい素(β−Si3N4)
  • 埋め草
    • 日本の未来を夢見て
    • 初めてスーパー支持膜を作製した時のこと
    • 感謝
    • 子どもたちと“ナノの世界”を共有
    • 忍耐と気力で点を切る
    • 発想の転換
    • 解析技術業務は保険?
    • モノ作りは材料設計と評価解析から
    • 走査電子顕微鏡の思い出
    • 基本は目で観ることから
    • 目ではハッキリ見えるのに…
    • 倍率表示から領域表示に
    • 「血のにじむような」試料作製
    • 透過電子顕微鏡との出合い
    • マイクロスコープと陣取り合戦
    • どっちも本当の気持ち
    • SEMで強磁性体は見えない?
    • IS(イオンスライサー)による試料作製に挑戦!
    • デジタルSEM
    • 邪魔音の二次電子
    • 紙と繊維とカーボンナノチューブ
    • 「下手の横好き」と「好きこそものの上手なれ」
    • 綺麗な格子像を得る「必要条件」

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