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目次

プラズマ理工学基礎

プラズマ理工学基礎 (電気・電子工学基礎シリーズ)

  • 畠山 力三(著)/ 飯塚 哲(著)/ 金子 俊郎(著)
  • 1.プラズマの基本特性
    • 1.1 プラズマとは
    • 1.2 プラズマの密度と温度
    • 1.3 粒子的挙動
    • 1.4 集団的挙動
    • 1.5 主な基本的プラズマ・パラメータの数値
  • 2.プラズマの基礎方程式
    • 2.1 プラズマ物理学と電磁気学の関係−マクスウェルの方程式
    • 2.2 分布関数による平均化
    • 2.3 プラズマの二流体方程式
    • 2.4 電磁流体力学方程式
  • 3.プラズマの静電的性質
    • 3.1 はじめに
    • 3.2 電子波
    • 3.3 イオン音波
    • 3.4 ペアプラズマ波
    • 3.5 イオンサイクロトロン波
    • 3.6 ドリフト波
    • 3.7 無衝突減衰
    • 3.8 非線形現象と乱れ
  • 4.プラズマの電磁的性質
    • 4.1 プラズマ中の電磁波
    • 4.2 表面波
    • 4.3 外部磁界が存在する場合の電磁波
    • 4.4 磁力線の凍結
    • 4.5 磁気圧とピンチ現象
    • 4.6 アルフベン波
    • 4.7 磁力線の繫ぎ替え
    • 4.8 天体からの電磁放射現象
  • 5.プラズマ生成の原理
    • 5.1 衝突断面積と平均自由行程
    • 5.2 励起と電離
    • 5.3 放電開始条件
    • 5.4 パッシェンの法則
    • 5.5 コロナ放電・グロー放電・アーク放電
    • 5.6 両極性拡散
  • 6.プラズマ生成法
    • 6.1 熱電離・接触電離によるプラズマ生成
    • 6.2 直流放電プラズマ源
    • 6.3 高周波放電プラズマ源
    • 6.4 マイクロ波放電
    • 6.5 電子サイクロトロン共鳴プラズマ源
    • 6.6 光・レーザー生成プラズマ源
    • 6.7 強結合プラズマ源
  • 7.プラズマの計測
    • 7.1 静電プローブ法
    • 7.2 エネルギー分析法
    • 7.3 磁気プローブ法
    • 7.4 電磁波による計測法
    • 7.5 レーザーによる計測法
    • 7.6 発光による計測法
    • 7.7 ラジカル計測法
  • 8.エネルギーとエレクトロニクスへのプラズマ応用
    • 8.1 制御熱核融合の原理
    • 8.2 核融合プラズマによる発電
    • 8.3 低温プラズマプロセス−薄膜形成
    • 8.4 低温プラズマプロセス−エッチング
    • 8.5 低温プラズマプロセス−表面改質
    • 8.6 光源へのプラズマ応用
  • 9.材料・環境・宇宙工学とナノバイオ工学・医療へのプラズマ応用
    • 9.1 熱平衡プラズマの発生と応用
    • 9.2 大気圧非平衡プラズマの発生と応用
    • 9.3 液体が関与するプラズマの発生と応用
    • 9.4 プラズマ推進機への応用
    • 9.5 ナノテクノロジーへのプラズマ応用
    • 9.6 バイオテクノロジーへのプラズマ応用