１．ドライプロセスとプラズマ
- １．１表面処理
- １．２ドライプロセスと真空
- １．３ＰＶＤ，ＣＶＤとプラズマとのかかわり
- １．４まとめ
２．真空およびプラズマ
- ２．１真空
- ２．２プラズマ
- ２．３プラズマ診断
３．ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成
- ３．１真空蒸着
- ３．２イオンプレーティング
- ３．３スパッタリング法
- ３．４ドライエッチング
- ３．５イオン注入法
- ３．６ＣＶＤ
- ３．７プラズマ浸漬イオン注入
- ３．８プラズマ窒化・浸炭
４．分析と評価
- ４．１膜厚測定
- ４．２表面分析
- ４．３密着性評価
- ４．４薄膜の内部応力
- ４．５薄膜の摩擦・摩耗評価と硬度測定
- ４．６ぬれ性・はっ水性評価