目次
シリコン半導体 その物性とデバイスの基礎 (物質・材料テキストシリーズ)
- 白木 靖寛(著)/ 藤原 毅夫(監修)/ 藤森 淳(監修)/ 勝藤 拓郎(監修)
- 第1章 はじめに
- 1−1 情報化社会と半導体
- 1−2 半導体産業とノーベル賞
- 1−3 半導体とその種類
- 1−4 半導体デバイスの種類
- 第2章 シリコン原子
- 2−1 シリコン元素
- 2−2 原子の量子論
- 第3章 固体シリコン
- 3−1 混成軌道と結合
- 3−2 固体シリコンの形態
- 第4章 シリコンの結晶構造
- 4−1 ダイヤモンド構造
- 4−2 結晶面と結晶軸
- 4−3 格子欠陥
- 4−4 格子振動
- 第5章 半導体のエネルギー帯構造
- 5−1 絶縁体と金属および半導体
- 5−2 不純物半導体
- 5−3 自由電子模型と有効質量
- 第6章 状態密度とキャリア分布
- 6−1 状態密度
- 6−2 フェルミ分布
- 6−3 キャリア分布と温度依存性
- 第7章 電気伝導
- 7−1 電気伝導度と移動度
- 7−2 キャリアの散乱機構
- 7−3 拡散電流とアインシュタインの関係式
- 7−4 飽和速度
- 7−5 空間電荷とポアソンの方程式
- 7−6 ホール効果
- 7−7 磁気抵抗効果
- 7−8 多結晶シリコンとアモルファスシリコンの電気伝導
- 7−9 キャリアの再結合
- 第8章 シリコン結晶作製とドーピング
- 8−1 シリコン単結晶の作製方法
- 8−2 エピタキシャル成長
- 8−3 多結晶シリコンとアモルファスシリコンの作製方法
- 8−4 結晶成長機構
- 8−5 SOI基板の作製
- 8−6 不純物のドーピング
- 第9章 pn接合とショットキー接合
- 9−1 pn接合
- 9−2 ショットキー接合
- 第10章 ヘテロ構造
- 10−1 ヘテロ接合の種類
- 10−2 量子井戸と超格子
- 10−3 シリコンゲルマニウムヘテロ構造
- 第11章 MOS構造
- 11−1 MOS構造の形成とエネルギー帯構造
- 11−2 MOS構造のバイアス依存性
- 11−3 表面ポテンシャルとMOS容量
- 11−4 表面準位と界面準位
- 第12章 MOSトランジスタ(MOSFET)
- 12−1 MOSトランジスタの構造と動作原理
- 12−2 MOSFETの電流−電圧特性
- 12−3 MOSFETの周波数特性とスイッチング速度
- 12−4 MESFETとHEMT
- 12−5 2次元電子ガスと量子化
- 12−6 MOSFETの移動度
- 第13章 バイポーラトランジスタ
- 13−1 バイポーラトランジスタの構造と動作原理
- 13−2 バイポーラトランジスタの電流−電圧特性
- 13−3 バイポーラトランジスタの高速性
- 13−4 ヘテロバイポーラトランジスタ
- 第14章 集積回路(LSI)
- 14−1 集積回路の種類
- 14−2 メモリLSI
- 14−3 ロジックLSI
- 14−4 MOSFETのスケーリング則
- 14−5 シリコンLSIの製造工程
- 第15章 シリコンパワーデバイス
- 15−1 pnpn構造(サイリスタ)
- 15−2 絶縁ゲートバイポーラトランジスタ
- 第16章 シリコンフォトニクス
- 16−1 光の吸収と発光
- 16−2 直接遷移型と間接遷移型
- 16−3 シリコンの光吸収と発光
- 16−4 受光デバイス
- 16−5 光回路素子
- 第17章 シリコン薄膜デバイス
- 17−1 薄膜トランジスタ(TFT)
- 17−2 薄膜太陽電池
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