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商品説明
現代の最先端技術を支える材料である「薄膜」。真空装置の基本から、真空蒸着法、スパッタリング法、膜厚測定法、関連技術まで、薄膜技術に関する基本知識を系統的に解説する。【「TRC MARC」の商品解説】
目次
- 1 真空装置の基本
- 1.1 真空の必要性
- 1.2 基本的構成
- 1.3 真空装置の取り扱いの基本
- 1.4 真空ポンプの原理
- 1.5 圧力(真空)測定
- 1.6 真空排気の基礎
- 演習問題
- 2 真空蒸着法
- 2.1 真空蒸着と基板
著者紹介
金原 粲
- 略歴
- 〈金原粲〉1933年静岡市生まれ。東京大学大学院数物系研究科修了。工学博士。東京大学名誉教授、同大学生産技術研究所共同研究員。著書に「スパタリング現象」など。
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