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- カテゴリ:研究者
- 発売日:2018/06/05
- 出版社: 東北大学出版会
- サイズ:21cm/228p
- 利用対象:研究者
- ISBN:978-4-86163-296-9
- 国内送料無料
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商品説明
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめた書。並列電子ビーム描画の課題、各種電子源、実証実験結果、応用と今後の課題などについて解説する。【「TRC MARC」の商品解説】
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。【商品解説】
目次
- 第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写
- 1.1 マスクレス露光(描画)
- 1.2 各種電子ビーム描画・転写
- 参考文献
- 第2章 並列電子ビーム描画の課題
- 2.1 電子ビーム制御
- 2.2 電子ビームの集束と電子レンズ
- 2.3 描画速度
- 参考文献
- 第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源
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