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- カテゴリ:実務家
- 取扱開始日:2015/02/19
- 出版社: 日刊工業新聞社
- サイズ:21cm/437p
- 利用対象:実務家
- ISBN:978-4-526-07366-3
- 国内送料無料
紙の本
現場のスパッタリング薄膜Q&A 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版
著者 小島 啓安 (著)
太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。現場で遭遇する疑問を、スパッタリングプロセスの第一人者が、Q&A形式でわかりやすく解説。実際にスパッタリングを使った薄...
現場のスパッタリング薄膜Q&A 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版
税込
3,630
円
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商品説明
太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。現場で遭遇する疑問を、スパッタリングプロセスの第一人者が、Q&A形式でわかりやすく解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。【「TRC MARC」の商品解説】
著者紹介
小島 啓安
- 略歴
- 〈小島啓安〉東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。名古屋大学より学位取得。同大学客員教授。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社(有)アーステックを設立。
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