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商品説明
できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。用語の語源や由来の説明、計算の課程も提示。後半では、真空を応用した各種プロセスも詳述する。〔「半導体のための真空技術入門」(工業調査会 2007年刊)の改題〕【「TRC MARC」の商品解説】
真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。【商品解説】
目次
- Ⅰ 基礎編
- 第1章 半導体製造装置と真空
- 1 装置システム構成
- 2 なぜ真空が使われるのか
- 3 半導体での真空応用例
- 第2章 真空の理論と計算
- 1 まずはトリチェリの実験から
- 2 単位の話—PaとTorr,mbar
- 3 真空理論の初歩
- 4 真空の計算—P,S,Q
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