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- カテゴリ:実務家
- 取扱開始日:2013/03/02
- 出版社: シーエムシー出版
- サイズ:26cm/273p
- 利用対象:実務家
- ISBN:978-4-7813-0709-1
- 国内送料無料
紙の本
EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
EUV露光装置の特質、露光装置側から見たEUV光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。【「TRC MAR...
EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
税込
4,840
円
44pt
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商品説明
EUV露光装置の特質、露光装置側から見たEUV光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。【「TRC MARC」の商品解説】
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