“Lieberman,Michael A.”の商品一覧
カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。
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プラズマ／プロセスの原理 第２版
- 税込価格：19,800円
- 出版社：丸善
- 発行年月：２０１０．１
- 発送可能日：要確認
- 半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。〔初版：ＥＤリサーチ社 ２００１年刊〕【「TRC MARC」の商品解説】
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