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“野尻 一男”の電子書籍一覧

群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。(株)日立製作所、ラムリサーチ(株)を経て独立。ナノテクリサーチ代表。共著に「先端電気化学」など。

“野尻 一男”に関連する電子書籍を2件掲載しています。12 件目をご紹介します。

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改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術

  • 評価5.0レビュー:1件
  • 税込価格:2,728
  • 出版社:技術評論社
  • 販売開始日:2020/10/30
  • (概要)

    「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング(ALE)など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。


    (...

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はじめての半導体ドライエッチング技術

  • 評価4.0レビュー:1件
  • 税込価格:2,508
  • 出版社:技術評論社
  • 販売開始日:2017/03/06
  • (概要)
    半導体ドライエッチング技術は,半導体デバイスの微細化・高集積化を実現する手段として,リソグラフィ技術と双璧をなすキーテクノロジーです。ドライエッチングに従事するエンジニアは,多くの場合,経験と堪に頼って仕事を進めているのが実情です。本書はこれまでの本とは異なるユニークなアプローチで,ドライエッチング技術の基礎から応用までビギナーに理解できるようまとめてあります。これまでのドライ...
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