“野尻 一男”の電子書籍一覧
群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。(株)日立製作所、ラムリサーチ(株)を経て独立。ナノテクリサーチ代表。共著に「先端電気化学」など。
“野尻 一男”に関連する電子書籍を2件掲載しています。1 ~ 2 件目をご紹介します。
オンライン書店e-honとは
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(レビュー:1件)
- 税込価格:2,728円
- 出版社:技術評論社
- 販売開始日:2020/10/30
- (概要)
「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング(ALE)など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。
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オンライン書店e-honとは
hontoは「オンライン書店e-hon」との連携を開始しました。
「e-hon」は書籍、雑誌、CD、DVD、雑貨といった多岐に渡る商品を取り扱う総合オンライン書店です。130万点以上の取り扱い点数、100万点以上の在庫により、欲しい商品を買い逃しません。honto会員向けにお得なキャンペーンを定期的に実施しています(キャンペーンに参加するにはMy書店をhontoに設定して頂く必要があります)。
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下記リンクからe-honへ遷移し会員登録する際に自動でhontoがMy書店に設定されます。
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(レビュー:1件)
- 税込価格:2,508円
- 出版社:技術評論社
- 販売開始日:2017/03/06
- (概要)
半導体ドライエッチング技術は,半導体デバイスの微細化・高集積化を実現する手段として,リソグラフィ技術と双璧をなすキーテクノロジーです。ドライエッチングに従事するエンジニアは,多くの場合,経験と堪に頼って仕事を進めているのが実情です。本書はこれまでの本とは異なるユニークなアプローチで,ドライエッチング技術の基礎から応用までビギナーに理解できるようまとめてあります。これまでのドライ...
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