“布施 玄秀”の紙の本一覧
“布施 玄秀”に関連する紙の本を1件掲載しています。1 ~ 1 件目をご紹介します。
ここまできたイオン注入技術 超LSIプロセスのリード役 (ケイブックス)
- 税込価格:1,923円
- 出版社:工業調査会
- 発行年月:1991.6
- 発送可能日:要確認
- 超LSIを支えるプロセス加工技術の中でもイオン注入技術は半導体プロセスに大きな革命をもたらしてきた。イオン注入の基礎とデバイス応用、さらに装置の内容について解説する。【「TRC MARC」の商品解説】
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